镀层测厚仪FT150
射线荧光镀层度测量仪FT150 FT150h FT150L
X射线荧光镀层度测量仪FT150系列
型号
FT150(标准型)
FT150h(高能量型)
FT150L(大型线路板对应)上海楹点公司供应
测量元素 原子序数13(Al)~92(U)
型号 | FT150(标准型) | FT150h(高能量型) | FT150L(大型线路板对应) |
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测量元素 | 原子序数13(Al)~92(U) | ||
X射线源 | 管电压:45 kV | ||
Mo靶 | W靶 | Mo靶 | |
检测器 | Si半导体检测器(SDD)(无需液氮) | ||
X射线聚光 | 聚光导管方式 | ||
样品观察 | CCD摄像头(100万像素) | ||
对焦 | 激光对焦、自动对焦 | ||
最大样品尺寸 | 400(W) × 300(D) × 100(H) mm | 400(W) × 300(D) × 100(H) mm | 600(W) × 600(D) × 20(H) mm |
工作台行程 | 400(W) × 300(D) mm | 400(W) × 300(D) mm | 300(W) × 300(D) mm |
操作系统 | 电脑、22英寸液晶显示屏 | ||
测量软件 | 薄膜FP法(最多5层膜、10元素)、检量线法、定性分析 | ||
数据处理 | Microsoft Excel、Microsoft Word 安装 | ||
安全功能 | 样品门联锁 | ||
消耗电量 | 300 VA以下 |
能谱匹配软件(材料辨别)
块体FP(测量金属成分比)
样品操作限制设置
晶圆治具(FT150/FT150h)
触摸板
信号灯
打印机
紧急停止开关箱