XP-703DⅢ气体检测仪

XP-703DⅢ气体检测仪

半导体材料气体检测

检测对象

H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3

检测浓度

1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm

检测原理

热线型半导体式

采样方式

自动吸引式

应用行业

半导体制造

产品描述：半导体材料气体检测

可检测微量的半导体材料气体泄漏，可对半导体工厂等使用毒性气体的场所进行泄漏检测，

也可对相关设备提供。

01.产品特点

·  小型·轻量

·  可以检查非常微量的气体泄漏

·  适合相关设备的防护

·  搭载的泵有自动停止功能

·  搭载[自动气体排气模式]功能

·  保护等级约为IP22（JIS C  0920）※安装皮套时

02.产品用途

·  半导体工厂/石油化学工厂等

·  在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测